ตัวเรือนเซรามิกเคลือบโลหะสำหรับเซมิคอนดักเตอร์กำลัง

ผสมผงอลูมินากับตัวทำละลายอินทรีย์ สารช่วยกระจายตัว และสารยึดเกาะเพื่อทำเป็นสารละลาย แล้วทาด้วยดอกเตอร์เบลดเพื่อสร้างเทปเซรามิกสีเขียวที่มีความหนาสม่ำเสมอ ความทนทานต่อความหนาจะถูกควบคุมภายใน ± 0.02 มม. สำหรับชิ้นส่วนการเคลือบโลหะเซรามิกขั้นสูงที่มีความบริสุทธิ์สูงของอลูมินา

เทปดิบแต่ละชั้นจะซ้อนกันและกดแบบคงที่ตามลำดับที่ออกแบบเพื่อรวมโครงสร้างหลาย-ไว้อย่างแน่นหนา ความดันและอุณหภูมิในการเคลือบจะต้องได้รับการควบคุมอย่างแม่นยำเพื่อหลีกเลี่ยงการหลุดร่อนหรือการเสียรูปสำหรับเซรามิกเมทัลไลซ์ที่มีความแม่นยำ

ตัวเครื่องเซรามิกสีเขียวที่เคลือบแล้วจะถูกแยกออกจากกันและเผาในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง- ส่วนประกอบอินทรีย์จะถูกเอาออกจนหมด อนุภาคเซรามิกจะถูกเผาผนึกและทำให้หนาแน่น และปฏิกิริยาการประสานระหว่างชั้นโลหะและเมทริกซ์เซรามิกเกิดขึ้นเพื่อสร้างพันธะที่แข็งแกร่ง

สารละลายแมงกานีสโมลิบดีนัมถูกพิมพ์บนพื้นผิวของเทปดิบตามรูปแบบที่ออกแบบเพื่อสร้างพื้นที่ขั้วต่อและรูปแบบพื้นที่เดินสายไฟ ความแม่นยำในการพิมพ์ส่งผลโดยตรงต่อค่าเบี่ยงเบนการจัดตำแหน่งของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายสำหรับการตัดเฉือนชิ้นส่วนเซรามิกอลูมินาอย่างแม่นยำ

ไม่มีฟองอากาศ ไม่มีการหลุดร่อน และไม่มีรอยแตกขนาดเล็กที่อินเทอร์เฟซ การวิเคราะห์ด้วยโพรบอิเล็กทรอนิกส์แสดงให้เห็นว่าองค์ประกอบต่างๆ มีการกระจายแบบเกรเดียนต์ ไม่ใช่การเปลี่ยนแปลงกะทันหัน นี่คือแก่นแท้ของแรงยึดเกาะสูงในระดับจุลภาค

ความคลาดเคลื่อนมิติของรูวางตำแหน่ง พื้นผิวขั้นบันได และความลาดชันของรางควบคุมจะถูกควบคุมที่ระดับไมครอน การร่วมมือกับอุปกรณ์จัดวางอัตโนมัติมีความสามารถในการทำซ้ำสูง และลดอัตราการโยนของสายการผลิตสำหรับเซรามิกเมทัลไลซ์ที่มีความแม่นยำได้อย่างมาก

หลังจากการเผาผนึก การบิดงอโดยรวมของเปลือกจะถูกควบคุมภายในช่วงที่เล็กมากเพื่อให้แน่ใจว่าจะพอดีกับพื้นผิวเซรามิกที่หุ้มด้วยทองแดง-และตัวระบายความร้อน และหลีกเลี่ยงความเข้มข้นของความเค้นเฉพาะที่สำหรับชิ้นส่วนอะลูมิเนียมเคลือบโลหะขั้นสูงที่มีความบริสุทธิ์สูง

การตรวจสอบลักษณะภายนอกดำเนินการภายใต้แหล่งกำเนิดแสงที่ได้มาตรฐาน พื้นที่เคลือบโลหะไม่มีรอยขาด ไม่มีรูเข็ม และไม่มีรอยขีดข่วน ตัวเซรามิกไม่มีรอยแตก ไม่มีมุมหายไป และไม่มีมลพิษสำหรับ Metallization Ceramic